Lamp 레퍼런스 채널이 적용된 싱글 채널 UV Absorption sensor
- 인라인 실시간 공정 모니터링 - 램프 레퍼런스 채널을 통한 광량 변동 보상 - 다양한 라인 크기와 공정 연결 방법 제공 (line size, process connection) - Wetted materials
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